VCSEL（垂直腔面发射激光器）

垂直于芯片表面出光的半导体激光器，是深度相机和激光雷达的常用光源。

一种半导体激光器，由东京工业大学伊贺健一在 1977 年提出。普通边发射激光器从切开的芯片侧面出光，VCSEL 则是在上下两层分布式布拉格反射镜之间夹一层发光区，光垂直于芯片表面射出。好处是切割前就能在整片晶圆上测试，一片晶圆可同时做出上万颗，也容易排成二维阵列，成本低、一致性好。在具身智能相关硬件里，它是许多红外主动光源的核心：iPhone Face ID 的结构光点阵投射器、飞行时间（ToF）深度相机、手机和汽车上的激光雷达都有用 VCSEL 发光的。

例子结构光深度相机里，VCSEL 阵列把成千上万个红外光点投到物体上，相机根据光点的位置偏移算出每处的深度。

也叫

垂直腔面发射激光器、面发射激光器

相关

结构光、散斑结构光、飞行时间法、激光雷达、SPAD（单光子雪崩二极管）、深度相机

来源

Vertical-cavity surface-emitting laser - Wikipedia